Produktbeskrivelse
I det banebrydende-område inden for halvlederfremstilling tjener aluminiumoxid keramiske kammerindsatser som foring og kerneforbrugsstoffer til kritiske proceskamre. Med deres exceptionelle materialeegenskaber giver de et stabilt, rent og holdbart reaktionsmiljø til kerneprocesser såsom spånætsning, tynd-filmaflejring (CVD/PVD) og ionimplantation. Deres ydeevne har direkte indflydelse på procespræcision, produktionsudbytte og udstyrs driftsomkostninger.
Produktets ydeevne
- Enestående plasmakorrosionsbestandighed: Under ætsning og CVD-processer fyldes kamrene med høj-, meget reaktive plasmaer (f.eks. fluor- eller klor-baseret). Aluminiumoxidkeramik med høj-renhed udviser ekstrem kemisk inertitet, der effektivt modstår bombardement og kemisk erosion fra sådanne plasmaer.
- Enestående renhed og lav kontaminering: Den høje renhed af 99,9 % aluminiumoxidkeramik-og endda 99,99 % aluminiumoxidkeramik-sikrer minimal frigivelse af metalioner (f.eks. Na, K, Fe) eller andre urenheder under høje-temperatur- og plasmaforhold.
- Overlegen høj-temperaturstabilitet og lav udgasningshastighed: Høj-temperatur-bestandig aluminiumoxidkeramik opretholder langtids-stabilitet ved 1600 grader. Deres relativt lave termiske udvidelseskoefficient resulterer i minimal deformation under gentagne termiske cyklusser.
- Enestående mekanisk styrke og stivhed: På trods af at den er keramisk, udviser aluminiumoxidkeramik med høj-renhed enestående bøjningsstyrke og hårdhed (Mohs hårdhed 9, næst efter diamant). Det modstår mekaniske belastninger og monteringsbelastninger, hvilket sikrer kammerets strukturelle integritet.
- Fremragende isoleringsegenskaber: Som en overlegen elektrisk isolator isolerer den effektivt plasma fra metalhulrum, hvilket hjælper med præcis kontrol af plasmamorfologi og distribution.
- Termisk stødmodstand: Gennem optimerede materialeformuleringer og mikrostrukturel kontrol udviser moderne aluminiumoxid-strukturkeramik forbedret termisk stødmodstand, hvilket gør dem i stand til at modstå hurtige temperatursvingninger under forarbejdning og reducerer risikoen for revner.
Produktanvendelse
- Beskyttelse af hovedkammeret: Forhindrer reaktionsbiprodukter, der genereres under processen (hvis filmmaterialer og biproduktpartikler) aflejres direkte på de dyre og vanskelige-at-rengøre permanente kammervægge og kritiske komponenter, hvilket væsentligt forlænger levetiden af hovedudstyret og reducerer vedligeholdelsesomkostningerne.
- Oprethold procesrenhed: Reducer partikelkilder i kammeret ved at opfange forurenende stoffer og biprodukter. Når indsatsoverflader bliver for fortykkede eller stærkt forurenede, kan de udskiftes direkte, hvilket hurtigt genopretter kammerets renhed og sikrer produktudbyttet.
- Optimer procesydelse: Visse indsatser (hvis gasfordelingsplader) deltager direkte i processen, hvilket sikrer ensartet fordeling af reaktionsgasser i kammeret. Dette garanterer ensartethed i filmafsætning eller ætsning.
kvalitetskontrol
Vi overholder strengt ISO 9001 kvalitetsstyringssystemet for at sikre ensartet produktkvalitet:
- 100% inspektion af råvarer for at garantere kvalitet fra kilden;
- Udnyttelse af avancerede-varmpressende produktionslinjer til præcise og pålidelige processer;
- Intern-ydelsestest, herunder tæthed, hårdhed og mikrostrukturanalyse;
- Besiddelse af autoritative- tredjepartscertificeringer (såsom SGS, CE, ROHS, tilgængelige efter anmodning).
Certifikater og hæder
Virksomheden er blevet anerkendt som en national højteknologisk-virksomhed og er et førende talentprojekt i Shaoxing Citys "Land of Eminent Scholars". Vores enestående R&D-team består af professorer og ph.d.'er med speciale i avancerede keramiske materialer og komponenter, herunder siliciumcarbid, siliciumcarbid med høj-renhed, borcarbid, diamantsiliciumcarbid, yttriumoxid, aluminiumoxid og aluminiumnitrid. Vi har indgivet over 30 kinesiske patenter. Vi besidder avancerede teknologiske processer, behersker teknikker såsom sintring, formning, slibning, CNC-bearbejdning, laserboring, lapning og polering. Vi tilpasser alle typer keramiske produkter efter kundens behov.
fabrikkens styrke
Vores digitale værksteder, Intelligent Factory og-realtidsdataindsamlingssystemer udnytter slanke fremstillingsprincipper for at minimere spild og maksimere ressourceeffektivitet. Ved at inkorporere CNC-bearbejdningsteknologi, Industrial Internet of Things (IIoT) teknologi og automatiserede kontrolsystemer opnår vi problemfri forbindelse og samarbejde mellem produktionsudstyr og maksimerer dermed produktionsbesparelser.
Populære tags: kammerindsats, kammerindsatsproducenter, leverandører, fabrik
