Produktbeskrivelse
Alumina keramiske waferarme tjener som kritiske komponenter i-avanceret produktionsudstyr til halvlederproduktion, integreret kredsløbsemballage og solcellefremstilling. De bruges primært i vakuumkamre eller rene miljøer og muliggør høj-hastighed og præcis håndtering af sarte, sprøde emner såsom siliciumwafers og glasunderlag.
På grund af direkte kontakt med høj-værdiwafere skal denne komponent opfylde strenge krav, herunder ultra-høj renhed, høj hårdhed, lavt slid, fremragende kemisk stabilitet og høj stivhed. Alumina keramik opfylder perfekt disse krav, hvilket gør dem til en ideel erstatning for metal- eller plastarme. De reducerer partikelforurening markant, forbedrer produktudbyttet og forbedrer udstyrets pålidelighed.
Produktets ydeevne
- Modstandsdygtighed over for plasmaerosion: Under halvlederprocesser, såsom tørætsning og kemisk dampaflejring (CVD), eksisterer højreaktive plasmaarter (hvis CF4, O₂ og Cl₂) i kammeret. Aluminiumoxid med høj-renhed udviser enestående modstandsdygtighed over for de fleste plasmatyper, hvilket overgår metalliske materialer betydeligt med hensyn til korrosionsbestandighed og reducerer derved væsentligt partikelformige kontamineringskilder.
- Syre- og alkaliresistens: Udviser fremragende modstandsdygtighed over for de fleste stærke syrer (hvis HCl eller HNO₃), stærke alkalier (hvis NaOH eller KOH) og forskellige organiske opløsningsmidler, forbliver ubeskadigede under rengøringsprocesser.
- Lav kontaminering (kernefordel): På grund af deres exceptionelle kemiske stabilitet forbliver keramiske arme praktisk talt inaktive under processer og frigiver ingen metalioner eller andre forurenende stoffer i kammermiljøet.
- Oxidationsmodstand: Fuldstændig stabil ved høje temperaturer (op til 1500 grader og derover) og i iltrige miljøer-, uden oxidation eller korrosion. Velegnet til procesapplikationer med høj-temperatur.
Produktanvendelse
- Semiconductor Front-End-processer: Ætsere, CVD-udstyr, PVD-udstyr, ionimplantatorer, hurtige udglødningsovne osv.
- Semiconductor Back-End Packaging: Dysetest- og sorteringsmaskiner.
- Fladskærmsfremstilling: Transport af glasunderlag.
- Solar Photovoltaic Industry: Transport af silicium wafers og solceller.
Certificering og hæder
Virksomheden er blevet anerkendt som en national højteknologisk-virksomhed og er et førende talentprogram i Shaoxing Citys "Mestrenes land". Dets elite-R&D-team omfatter professorer og ph.d.'er med speciale i avancerede keramiske materialer og strukturelle komponenter, herunder siliciumcarbid, siliciumcarbid med høj-renhed, borcarbid, diamantsiliciumcarbid, yttriumoxid, aluminiumoxid og aluminiumnitrid. Virksomheden har indgivet over 30 kinesiske patenter.
fabrikkens styrke
Vi har avanceret teknisk ekspertise inden for sintring, formning, slibning, CNC-bearbejdning, laserboring, slibning og poleringsteknologi i henhold til kundernes krav for at tilpasse forskellige keramiske produkter.
Virksomheden opretholder kerneværdierne "Integritet, Samarbejde og Ledelse", og praktiserer konsekvent virksomhedsfilosofien om "at skabe værdi for kunderne." Vi ser frem til dit besøg og protektion.
Populære tags: aluminiumoxid keramisk waferarm, aluminiumoxid keramisk waferarm fabrikanter, leverandører, fabrik
