Produktbeskrivelse

En keramisk halvlederring er en-højtydende keramisk specialkomponent, der bruges i kritiske stadier af halvlederfremstillingsprocesser. Det er typisk lavet af høj-renhed, høj-tæthed, præcisions-keramiske materialer og har en cirkulær ringstruktur. Det fungerer som en vigtig forbrugsdel i reaktionskamrene i halvlederudstyr, der bruges til processer som diffusion, oxidation, kemisk dampaflejring (CVD) og ætsning.

Dens primære funktioner omfatter understøttelse af siliciumwafers (eller dannelse af specifikke procesgasmiljøer og ensartede flowfelter), mens de modstår ekstreme driftsforhold-herunder høje temperaturer, stærkt ætsende gasser, plasmabombardement og hurtig termisk cyklus. Derfor påvirker dens ydeevne direkte processtabilitet, ensartethed, partikelforureningskontrol og i sidste ende udbyttet af det endelige chipprodukt.

Semiconductor Ceramic Rings

produktdetaljer

Produktnavn	Halvleder keramisk ring
Farve	Tilpasset efter kundens krav
størrelse	Tilpasset efter kundens krav
Emballage	Karton / palle / trækasse (i henhold til kundens krav)
Leveringstid	Standardprodukt-Inden for 3 dage
Elementer Design	I henhold til kundens tegning eller prøver
Funktioner	God kvalitet, lav pris, flere fabrikker, leverer til dig baseret på den, der er tættest på din placering
Anvendelse	Industriel keramik
Certifikat	ISO, CE

Nøgleydelsesegenskaber

Materiale med høj renhed

Valget af keramiske råmaterialer med høj-renhed reducerer effektivt interferensen af urenheder i halvlederfremstillingsprocessen. Halvleder keramiske ringe er normalt lavet af høj-rene keramiske materialer, såsom aluminiumoxid, siliciumnitrid osv. De har ekstrem høj hårdhed og kan modstå mekanisk belastning under forarbejdning, hvilket effektivt sikrer udbyttehastigheden og ydeevnestabiliteten af chippen.

Fremragende høj temperaturbestandighed

I det komplekse procesflow af halvlederfremstilling skal mange vigtige procestrin, såsom diffusion og udglødning, udføres i barske høje-temperaturmiljøer. Halvleder keramisk ring har demonstreret ekstraordinær ydeevne i denne henseende og kan modstå høje temperaturer på hundreder eller endda tusinder af grader. Selv under sådanne ekstreme høje temperaturforhold kan den keramiske halvlederring stadig opretholde god mekanisk styrke og strukturel integritet. Desuden vil den keramiske halvlederring ikke vise nogen ugunstige forhold såsom deformation, revner eller blødgøring, uanset om den står over for de hurtige ændringer af høj eller lav temperatur. Dette giver en klippe-solid og pålidelig støtte til den gnidningsløse fremdrift af høj-temperaturprocesser i halvlederfremstilling, hvilket i høj grad forbedrer kvaliteten og udbyttet af chips.

Fremragende kemisk stabilitet

Keramiske halvlederringe har fremragende kemisk stabilitet, fremragende korrosionsbestandighed over for en række kemikalier og kan forblive stabile i barske forarbejdningsmiljøer, hvilket sikrer renheden og pålideligheden af chipfremstillingsprocessen.

Præcis størrelseskontrol

Fremstillingsprocessen for halvlederkeramiske ringe kan opnå ekstrem høj dimensionsnøjagtighed. Halvlederkeramiske ringes parametre såsom indre diameter, ydre diameter, tykkelse og overfladeplanhed kan kontrolleres præcist inden for ekstremt små tolerancer. I chipfremstillingsudstyr er denne præcise dimensionelle tilpasning afgørende. Halvlederkeramiske ringer kan perfekt samarbejde med andre komponenter såsom wafere, elektroder, reaktionskamre osv. for at sikre ensartet strømning af procesgasser og væsker og ensartet fordeling af fysiske felter såsom elektriske felter og magnetiske felter, hvorved processen forbedres til ensartethed og gentagelse af processen, hvilket forbedrer processens ensartethed og gentagelsesevne. stor-skala, høj-effektivitet og høj-kvalitets chipproduktion.

God elektrisk isoleringsevne

Halvleder keramiske ringe har fremragende elektrisk isoleringsegenskaber og kan modstå høje spændinger uden nedbrud. Denne funktion gør det muligt for keramiske halvlederringe at spille en isolerende og isolerende rolle på vigtige steder, såsom elektrodesystemet og kredsløbsforbindelsesdele af chipfremstillingsudstyr, hvilket sikrer sikkerheden og stabiliteten af det elektriske system under halvlederfremstillingsprocessen og undgår chipskader eller produktionsulykker forårsaget af elektriske problemer.

Markedsapplikation

Halvleder keramiske ringe bruges primært i tre kerneområder inden for fremstilling af integrerede kredsløb: diffusion/termisk behandling, kemisk dampaflejring (CVD) og tørætsning (Etch).

Diffusions-/oxidations-/LPCVD-processer

I ovnrør med høje-temperaturer bruges keramiske ringe (ofte kaldet "bådsvinger" eller "både") til vandret eller lodret stable og understøtte flere siliciumskiver. De skal sikre ensartede opvarmnings- og forureningsfrie-forhold for alle wafere ved temperaturer op til 1200 grader. Alumina keramiske ringe er meget udbredt i sådanne applikationer.

Kemiske dampaflejringsprocesser (CVD).

I CVD-reaktionskamre tjener keramiske ringe som susceptorer eller kammerforinger, understøtter wafere og optimerer reaktionsgasstrømningsfelter. Deres ensartede termiske ledning er afgørende for at opnå ensartet filmaflejring. Keramiske ringe af aluminiumnitrid er meget udbredt på dette område på grund af deres fremragende varmeledningsevne.

Tørætsningsprocesser

Dette er en af de mest krævende applikationer til keramiske ringe. I ætsningskamre fyldt med-højenergiplasmaer og ætsende gasser fungerer keramiske ringe som fokusringe, indeslutningsringe eller kammerforinger. Deres primære roller er at kontrollere plasmafordelingens ensartethed, beskytte metalkammervægge mod korrosion og reducere partikelforurening.Yttriumoxid (Y2O3) keramiske ringeer blevet det foretrukne valg til avancerede ætsningsprocesser på grund af deres uovertrufne modstand mod fluor-baseret plasmaerosion.

Andre hjælpeanvendelser

De kan også tjene som isolerende komponenter i måle- eller overføringssystemer eller som grænseringe i waferhåndteringsrobotter

Produktets ydeevne

Antal	Præstation	Enhed	Aluminiumnitrid
			Aluminiumnitrid
			JC-AN-210	JC-AN-170
1	Tæthed	g/cm3	3.32~3.34	3.31~3.33
2	Bøjningsstyrke	MPa	340~360	400~420
3	Brudsejhed	MPa·m1/2	3.35	3.35
4	Dielektrisk konstant	εr (20 grader, 1MHz)	8.8~9.0	8.7~8.9
5	Hårdhed	GPa	12-16
	Hårdhed	HRC	75-80
6	Volumenresistivitet	Ω·cm (20 grader)	10 10	10 10
7	Elastikmodul	GPa	310	320
8	Termisk udvidelseskoefficient	×10-6/k	4.8~5.0	4.5~4.7
9	Trykstyrke	MPa	2100	2000
10	Afskrabninger	g/cm2	0.01	0.01
11	Termisk ledningsevne	W/m×k(20 grader)	200~220	160~180
12	Poissons forhold	/	0.24	0.24
13	Isoleringsstyrke	kv/mm	26~28	30~32
14	Temperatur	grad	2500	2500

kvalitetskontrol

I nøje overholdelse af ISO 9001 kvalitetsstyringssystemet implementerer vi fuld-proceskvalitetskontrol for at sikre ensartet levering af høj-kvalitetsprodukter:

• 100 % inspektion af råvarer, der garanterer kvalitet fra kilden
• Udnyttelse af avancerede hot-pressende produktionslinjer til stabile og pålidelige processer
• Et omfattende internt-testsystem, der dækker tæthed, hårdhed og mikrostrukturanalyse
• Tilgængelighed af autoritative-tredjepartscertificeringer (herunder SGS, CE, ROHS osv., leveres efter anmodning)

Vi er fortsat forpligtet til løbende at forbedre vores ledelsessystem, hvilket giver kunderne en ensartet og pålidelig produktsikkerhed.

certificate

hvorfor vælge os

Vi er en professionel producent og leverandør af forskellige Semiconductor keramiske ring. Vi har en professionel halvleder-keramisk ringproduktionsfabrik og -team. Derudover har vi specialiseret os i Semiconductor keramiske ring, og vi har et firma i USA. For at være ærlig yder vi en meget professionel og oprigtig service. Hvis du har brug for en halvleder-keramisk ring af høj-kvalitet eller andre keramikproducenter og langsigtede-oversøiske partnere, er du velkommen til at kontakte os. Vi understøtter alle tilpasninger, der er svære-, og vi vil gøre vores bedste for at imødekomme dine behov.

Hvis du har spørgsmål om den keramiske borepatron, kan du klikke på voresKontakt osknappen med det samme, vil der være professionel kundeservice til at besvare dine spørgsmål.
Ser frem til dit besøg!